我国生产真空获得设备从20世纪30年代开始起步，目前年产量已达12万台左右，产品品种和质量基本能够满足国内市场需求。但中国入世后，面临激烈的国际市场竞争，国内真空获得设备在质量水平上与发达国家的差距亟待我们冷静思考，研究对策。

真空获得设备按品种可分为15大类，按抽气能力可分为高/超高真空泵、中真空泵和粗/低真空泵。而真空获得设备中最大面广的是旋片泵、滑阀泵、罗茨泵和油扩散泵。

旋片泵该泵是所有真空获得设备中产量最大、应用最普遍的真空泵，全国年产量约10万台。

我国旋片泵生产设计水平、加工制造以及性能都已趋向成熟。目前旋片泵中皮带泵约有80%的产品，直联泵约有50%的产品，质量能够达到行业标准要求，但仍存在以下问题：

2Pa时的抽速过低，抽气效率达不到标准要求。按标准规定，当旋片泵在入口压力为2Pa时，表征泵抽气能力的指标——抽气效率应达到45%以上。而目前我国旋片泵的不合格产品中，80%的产品该项指标较低。其原因，一方面是由于某些产品的入口直径没有执行标准，造成通导不足；一方面是由于零部件加工和装配问题，引起泵的返流、泄漏及管阻加大。一些企业由于缺少抽气效率指标的检测条件，产品出厂没有经过检测监控把关，使该项指标长期得不到改善和解决。

喷油和漏油问题。近几年国内主要生产厂对旋片泵的喷油、漏油问题下了很大的力气加以解决，成效显着，但是仍有约20%的旋片泵喷油、漏油。

泵的噪声不符合标准要求。旋片泵的噪声主要来源于三方面：泵油对阀片的冲击产生的噪声；配用电机产生的噪声；振动、旋转件产生的噪声。一些企业采取了改进阀片材料、严格控制油量、选择低噪声电机等手段，使噪声降低。但目前旋片泵不合格产品中，仍有20%的产品噪声不合格。

滑阀泵该泵加上一些附属装置后具有抽出水蒸气和腐蚀性气体的能力，其工作压力范围宽，经久耐用，故障率低。近几年该泵在我国发展较快，年产量约为3000台。

我国滑阀泵质量经过多年的市场磨练，主要技术性能如极限压力、抽速、抽气效率等指标已经得到大大改善，特别是近几年，为解决滑阀泵的噪声、振动等问题，生产企业与大专院校联合，从理论到加工工艺都进行了卓有成效的探索和努力。

滑阀泵的噪声形成机理比较复杂，普遍认为是多方共同作用的结果。如排气噪声、机构振动和激励噪声、电机与轴承噪声以及泵油的冲击噪声等多种噪声叠加的结果。鉴于此，一些减少泵振动和噪声的新技术，新结构滑阀泵在国内不断有人研制。如改变阀片结构和材料以减小排气噪声；采用三缸式滑阀泵，使滑阀泵运行平稳等。最近，一种新型产品HGL-150滑阀泵通过鉴定，该产品三个重要部位采用新型结构，产品不但极限压力低，而且噪声比标准降低6分贝，且运行平稳，无需地脚螺栓。

我国在滑阀泵的外观质量上也进行了不少探索，产品的外观结构设计更加美观，泵体的铸件质量提高，泵体表面不需打腻子，喷漆后可组装，外观向仪器仪表化发展。尽管如此，国产滑阀泵与国外产品相比仍然存在着以下较大差距：一是噪声、振动大。如H-150滑阀泵，国内产品大多数要用地脚螺栓，否则由于振动，泵爬行严重。我国产品与国外先进国家的产品相比，噪声普遍高出5分贝以上。二是喷油、漏油。多数滑阀泵启动时喷油严重，运转后漏油。三是停泵返油严重，造成启动困难，使电机过载。四是稳定性、可靠性差。由于生产加工装备落后，使生产效率低，零部件的互换性差，影响了产品的稳定性和可靠性。

罗茨泵该泵极限压力可达到5×10-2Pa，其特点为抽速大、抽气时间短、无污染。现全国年产量约为3000台。

目前国产罗茨泵产品质量相差比较悬殊，老的生产企业产品性能指标一般能够达到或超过标准要求。按现行标准，国产罗茨泵仍有30%左右的产品不合格，如果与国际先进水平相比，综合性能差距更大。存在的问题是轴封漏油严重；振动、噪声大，有的产品动平衡不好，也有的齿轮、轴承精度不够；一些产品的零流量压缩比以及最大允许夺差达不到标准要求；有的企业生产工艺装备落后，不能保证零部件的加工精度和装配精度。这些问题造成国产罗茨泵运行不可靠，故障率高，有的泵运转几个月就要维修，而德国L-H公司罗茨泵运行数年可以不维修。

油扩散泵该泵是目前国内在高真空范围内应用最普遍的泵。该泵的特点是结构简单、无机械运动部件、寿命长、不易损坏、在高真空范围内抽速大。我国油扩散泵的年产量约2500台。

目前国产油扩散泵存在的主要问题是返油严重，使油扩散泵的使用条件受到限制。还有的产品极限压力指标和临界前级压力达不到标准要求，使泵的整体性能降低。

除了以上提到的质量问题外，共性的质量问题还有产品的耐久性和可靠性较差。目前，99%以上的国产泵不进行可靠性试验，生产企业对其产品的可靠性指标根本不了解。此外，漏水、产品标牌与实际情况不符、螺钉松动、电机皮带过紧或过松、旋片泵和滑阀泵的气镇装置效果不明显或失效等问题也比较普遍。

真空泵的性能质量不仅仅取决于生产厂制造本身，大量的配套产品对真空泵的质量起到了至关重要的作用，如轴承、齿轮、动密封、静密封、电机、真空泵油等等，因此真空泵制造厂选用优质的配套产品对提高产品质量是十分有效的。